Gần đây, Ủy ban Hành chính Khu Thương mại Tự do Thí điểm Trung Quốc (Thượng Hải) Khu vực mới Lâm Cảng đã chính thức công bố Kế hoạch Hành động Xây dựng Cụm Công nghiệp Tương lai về Chất bán dẫn Thế hệ thứ 4 (2026–2028). Tài liệu này đánh dấu chính sách công nghiệp đặc thù địa phương đầu tiên của Trung Quốc được thiết kế dành riêng cho lĩnh vực bán dẫn thế hệ thứ 4. Kế hoạch xác định hai lộ trình phát triển chính: chất bán dẫn vùng cấm siêu rộng bao gồm gali oxit, kim cương và nhôm nitrua, cũng như chất bán dẫn vùng cấm siêu hẹp như indi antimonua và gali antimonua.

Lâm Cảng đang xây dựng một hệ thống nuôi dưỡng toàn chuỗi bao gồm nghiên cứu cơ bản, đột phá công nghệ, xác minh khái niệm, xác minh kỹ thuật, trình diễn kịch bản và ứng dụng quy mô lớn, đồng thời tăng cường nghiên cứu khoa học trong các khâu vật liệu, thiết bị, quy trình và ứng dụng.BSL (Baoshili) Chi nhánh Thượng Hải tọa lạc tại Khu vực mới Lâm Cảng, chuyên về Ống PFA siêu sạch,Thùng HDPE siêu sạch và các vật tư tiêu hao đóng gói và vận chuyển hóa chất điện tử cấp bán dẫn khác. Dòng sản phẩm của công ty đóng vai trò là mắt xích kết nối giữa nguồn cung hóa chất điện tử và ứng dụng quy trình.

01. "Nhu cầu thiết yếu vô hình" trong chuỗi công nghiệp

Để chất bán dẫn thế hệ thứ 4 chuyển từ phòng thí nghiệm sang dây chuyền sản xuất, nhiều bước quy trình dựa vào việc cung cấp ổn định các hóa chất có độ tinh khiết cao. Việc làm sạch ướt các tấm wafer gali oxit và đánh bóng CMP các đế kim cương đều sử dụng các hóa chất điện tử như axit sunfuric, hydro peroxit và axit hydrofluoric. Các đường ống vận chuyển và thùng chứa đóng gói tiếp xúc trực tiếp với môi trường quy trình. Sự rò rỉ ion kim loại, giải phóng TOC và bong tróc hạt từ vật liệu đường ống ảnh hưởng trực tiếp đến mật độ khuyết tật của tấm wafer. Do đó, các vật tư tiêu hao đóng gói và vận chuyển có độ tinh khiết cao cho hóa chất điện tử thường được gọi là "nhu cầu thiết yếu vô hình".

02. Từ thương mại hóa sản phẩm đến xây dựng tiêu chuẩn

Hiện nay, nguồn cung ống PFA và thùng HDPE cấp bán dẫn tập trung cao độ ở các doanh nghiệp Nhật Bản, châu Âu và Mỹ. Các vật tư tiêu hao đóng gói và vận chuyển hóa chất cấp bán dẫn đặt ra những yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt về độ tinh khiết của nguyên liệu thô, quy trình đùn và kiểm soát sự rò rỉ kim loại.

Thông qua nghiên cứu công nghệ liên tục, BSL đã dẫn đầu trong việc đạt được những đột phá trong lĩnh vực này và phát triển hai sản phẩm sáng tạo: Ống PFA siêu sạch và Thùng HDPE siêu sạch. Ống PFA siêu sạch có khả năng kiểm soát sự rò rỉ ion kim loại ở mức ppt, khả năng chống ăn mòn hóa học vượt trội, thành trong nhẵn và chất lượng ổn định. Đối với Thùng HDPE siêu sạch, các ion kim loại chính bao gồm natri, kali, sắt, đồng và niken cũng được kiểm soát ở mức ppt, đảm bảo sự ổn định lâu dài của hóa chất điện tử dạng ướt trong quá trình lưu trữ và vận chuyển.

Dựa trên nền tảng này, BSL đang chuyển đổi lợi thế sản phẩm của mình thành năng lực thiết lập tiêu chuẩn để thúc đẩy việc nâng cấp các thông số kỹ thuật của ngành. BSL đóng vai trò là tổ chức soạn thảo chính cho tiêu chuẩn nhóm Ống Polytetrafluoroethylene (PFA) nóng chảy cấp bán dẫn, và là tổ chức soạn thảo chính cho tiêu chuẩn nhóm Yêu cầu về đóng gói, lưu trữ và vận chuyển hóa chất điện tử dạng ướt, đã được chính thức thực hiện vào tháng 4 năm nay. Cho đến nay, dòng sản phẩm siêu sạch của BSL đã gia nhập chuỗi cung ứng của các nhà máy sản xuất và nhà cung cấp thiết bị chính thống, hình thành ma trận sản phẩm ban đầu cho các vật tư tiêu hao vận chuyển và đóng gói hóa chất.

03. Cùng nhau thúc đẩy nâng cấp công nghiệp

Chi nhánh BSL Thượng Hải nằm trong cùng khu vực với Cụm Công nghiệp Mạch tích hợp Oriental Core Harbour. Việc kiểm soát độ sạch nghiêm ngặt phải được duy trì trong suốt toàn bộ quy trình hậu cần đối với các đường ống vận chuyển hóa chất có độ tinh khiết cao và thùng chứa đóng gói từ khi xuất xưởng đến khi kiểm tra đầu vào tại nhà máy. Khoảng cách vật lý ảnh hưởng trực tiếp đến rủi ro ô nhiễm và chi phí vận chuyển trong quá trình hậu cần. Ngoài ra, chu kỳ đủ điều kiện để đưa vật tư tiêu hao cấp bán dẫn vào các nhà máy thường bắt đầu từ sáu tháng. Các nhà cung cấp cần liên lạc thường xuyên và chạy thử tại chỗ với các đội ngũ quy trình của nhà máy, và khoảng cách ngắn hơn cho phép phản hồi nhanh hơn và hợp tác kỹ thuật trực tiếp hơn.

Khi khung công nghiệp cho chất bán dẫn thế hệ thứ 4 tại Lâm Cảng dần hình thành, BSL sẽ tiếp tục tập trung vào các vật tư tiêu hao vận chuyển và đóng gói hóa chất và tích cực tạo điều kiện cho việc nâng cấp công nghiệp.