Gần đây, một công ty thiết bị vệ sinh trong nước hàng đầu đã công bố rằng thiết bị SPM chip đơn nhiệt độ cao của họ đã vượt qua thành công quá trình kiểm tra sản phẩm, đây là một tiến bộ công nghệ quan trọng khác trong thiết bị vệ sinh ướt của họ. Với việc liên tục cải thiện hiệu suất của các sản phẩm vật liệu flo siêu tinh khiết (PFA), Baoshili đã có thể đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của thiết bị vệ sinh SPM chip đơn nhiệt độ cao cho hệ thống đường ống.
Theo dữ liệu của SEMI, thị trường thiết bị vệ sinh bán dẫn toàn cầu sẽ đạt 5 tỷ đô la Mỹ vào năm 2023 và thiết bị vệ sinh một tấm wafer sẽ chiếm hơn 70% thị trường thiết bị vệ sinh nói chung, duy trì thị phần cực cao. Với sự tiến bộ liên tục của công nghệ bán dẫn, kích thước chip tiếp tục thu nhỏ và độ nhạy với tạp chất đã tăng lên đáng kể, và tầm quan trọng của thiết bị SPM một tấm wafer nhiệt độ cao cũng tăng lên, ngày càng trở nên phổ biến trong ngành.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, quy trình ướt đòi hỏi wafer phải được xử lý ở nhiệt độ cao gần 200°C bằng nhiều loại hóa chất như axit hydrofluoric, axit hydrochloric, axit nitric, axit sulfuric, axit phosphoric, nước amoniac và hydrogen peroxide dạng nước. Các kịch bản ứng dụng của thiết bị SPM nhiệt độ cao wafer đơn cũng rất rộng.
Hiện nay, các sản phẩm vật liệu flo siêu tinh khiết (PFA) của Baoshili có thể được cấu hình trong hệ thống đường ống của thiết bị làm sạch ướt SPM chip đơn nhiệt độ cao.
PFA, thường được gọi là PTFE nóng chảy, là một đồng trùng hợp của tetrafluoroethylene và một lượng nhỏ perfluoroalkyl vinyl ether. So với PTFE, nó có độ bám dính nóng chảy mạnh hơn, độ nhớt nóng chảy thấp hơn, có thể chịu được nhiệt độ cao 260 ° C, có khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời, hệ số ma sát thấp, tính chất điện tốt và khả năng cách điện của nó không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ.
Sản phẩm vật liệu flo siêu tinh khiết của Baoshili có những ưu điểm sau:
Trong quá trình làm sạch ở nhiệt độ cao, phụ kiện ống PFA có thể chịu được sự ăn mòn của chất lỏng làm sạch ở nhiệt độ cao, đảm bảo thiết bị hoạt động ổn định.
Trong quá trình làm sạch bằng hóa chất, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và lượng ion kim loại kết tủa thấp của phụ kiện ống PFA có thể đảm bảo độ tinh khiết cực cao của hóa chất.
Là trung tâm trong đường ống, các khớp nối PFA, với các tính chất cơ học đặc biệt và cấu trúc làm kín, có thể được kết hợp với phụ kiện PFA để tạo nên một hệ thống cung cấp hóa chất siêu tinh khiết hoàn chỉnh.
Là một trong số ít công ty trong nước nắm vững công nghệ sản xuất PFA cấp bán dẫn, năng lực cạnh tranh cốt lõi của Baoshili nằm ở sự đổi mới công nghệ độc lập. Công ty sử dụng nguyên liệu thô có độ tinh khiết cao từ Daikin và kết hợp các quy trình độc lập để đạt được sản xuất quy mô lớn Ống PFA siêu sạch. Các sản phẩm không chỉ đạt chứng nhận quốc tế như ISO 9001 và đạt tiêu chuẩn SEMI mà còn có hơn 10 quyền sở hữu trí tuệ độc lập. Đây là một trong những công ty đại diện cho việc thay thế các bộ phận siêu sạch trong nước.
Để duy trì tính đồng nhất của các tiêu chuẩn công nghiệp, Baoshili cũng có can đảm đảm nhận trách nhiệm xã hội và đi đầu trong việc soạn thảo tiêu chuẩn nhóm "Ống polytetrafluoroethylene (PFA) nóng chảy siêu tinh khiết cấp bán dẫn" để dẫn dắt sự phát triển của ngành và đẩy nhanh quá trình thay thế trong nước; với nghiên cứu và phát triển chuyên sâu của Baoshili, các sản phẩm vật liệu flo siêu tinh khiết, chẳng hạn như phụ kiện ống PFA siêu sạch và đầu nối PFA siêu sạch, đã vượt qua quá trình xác minh sản phẩm của nhiều công ty bán dẫn hàng đầu và duy trì nguồn cung ổn định.
Khi sản xuất chất bán dẫn hướng tới độ chính xác cao hơn và các quy trình đòi hỏi khắt khe hơn, vật liệu PFA siêu tinh khiết của Bioshine có thể cung cấp các giải pháp sản phẩm vật liệu flo siêu tinh khiết đáng tin cậy cho thiết bị SPM đơn chip nhiệt độ cao thông qua đổi mới vật liệu và ứng dụng kỹ thuật. Trong tương lai, khi độ chính xác của quy trình tiếp tục tăng lên, Bioshine sẽ tiếp tục tăng cường đầu tư vào nghiên cứu và phát triển công nghệ, tiếp tục cung cấp các sản phẩm vật liệu flo siêu tinh khiết chất lượng cao và thúc đẩy sự phát triển nhanh chóng của chất bán dẫn trong nước.