Cleanroom wipes & Cleanroom wiper supplier
Tin tức

Ứng dụng vật liệu PFA trong sản xuất chất bán dẫn

2025-06-25
01. Vật liệu PFA là gì?

PFA, thường được gọi là PTFE nóng chảy, là một đồng trùng hợp của tetrafluoroethylene và một lượng nhỏ perfluoroalkyl vinyl ether. Nó có thể được đúc phun, đùn và thổi để giải quyết vấn đề xử lý khó khăn của PTFE. Nó chủ yếu được sử dụng trong các thành phần thiết bị bán dẫn, bể chứa hóa chất có độ tinh khiết cao, đường ống cấp y tế và các lĩnh vực khác.




02. PFA cấp bán dẫn là gì?

Theo độ tinh khiết của sản phẩm, hiệu suất và lĩnh vực ứng dụng, PFA trong nước chủ yếu có thể chia thành bốn loại: loại thường, loại phủ, loại siêu tinh khiết và loại bán dẫn. Trong đó, loại bán dẫn có yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết, khiến cho việc nghiên cứu phát triển và sản xuất trở nên khó khăn.

03. Tính chất tuyệt vời của PFA cấp bán dẫn

Trong quá trình làm sạch, khắc, lắng đọng và các quá trình xử lý bán dẫn khác, cần một lượng lớn hóa chất điện tử ướt như axit hydrofluoric, axit hydrochloric, axit nitric, axit sulfuric, amoni phosphat và dung dịch nước hydrogen peroxide. Do đó, các sản phẩm PFA cấp bán dẫn có khả năng chống ăn mòn vượt trội, chịu nhiệt độ cao và độ tinh khiết cực cao đã trở thành lựa chọn hàng đầu cho các quy trình tiên tiến.

PFA cấp bán dẫn có những đặc tính vượt trội sau:

  • Khả năng chống ăn mòn siêu việt
PFA cấp bán dẫn có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời khi tiếp xúc với nhiều loại axit mạnh, kiềm mạnh và dung môi hữu cơ, có thể ngăn chặn hiệu quả các chất hóa học làm hỏng thiết bị và đảm bảo thiết bị bán dẫn hoạt động bình thường.

  • Độ tinh khiết cao
Vật liệu PFA cấp bán dẫn có tính trơ hóa học cực mạnh. Các sản phẩm như ống, khớp nối và van làm bằng vật liệu này có lượng kết tủa ion kim loại cực thấp, có thể đảm bảo độ tinh khiết cao của hóa chất điện tử ướt bán dẫn trong quá trình vận chuyển.

  • Vật liệu cách điện tuyệt vời
Là vật liệu cách điện tuyệt vời, PFA cấp bán dẫn có hằng số điện môi ổn định và điện trở suất bề mặt cao trong phạm vi nhiệt độ rộng. Ngoài ra, khả năng cách điện của PFA không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ, cho phép nó duy trì các đặc tính điện tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao.

04. Phạm vi ứng dụng của PFA cấp bán dẫn

Ống PFA, khớp nối PFA, van PFA và các sản phẩm khác làm từ vật liệu PFA cấp bán dẫn được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn.

  • Ứng dụng phòng sạch
Sản xuất chất bán dẫn cần được thực hiện trong môi trường sạch. Các sản phẩm PFA cấp bán dẫn, chẳng hạn như phụ kiện ống PFA, có thể được sử dụng trong các hệ thống đường ống khác nhau trong phòng sạch, chẳng hạn như vận chuyển khí, vận chuyển chất lỏng và xả. Độ sạch cao và khả năng chống ăn mòn mạnh của nó có thể đảm bảo tính ổn định và an toàn của phòng sạch.

  • Thiết bị chế biến wafer
Wafer là vật liệu cốt lõi của sản xuất chất bán dẫn và cần trải qua nhiều bước xử lý, bao gồm làm sạch, lắng đọng, khắc và đóng gói. Các sản phẩm PFA cấp bán dẫn có thể được sử dụng trong đường ống truyền dẫn trong thiết bị xử lý wafer để cải thiện hiệu suất thiết bị và hiệu quả sản xuất.

  • Đánh bóng cơ học hóa học (CMP)
CMP là công nghệ xử lý bề mặt thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn, được sử dụng để loại bỏ các hạt nhỏ và độ nhám trên bề mặt của wafer. Các sản phẩm PFA cấp bán dẫn có thể được sử dụng làm ống dẫn và ống tuần hoàn trong thiết bị CMP để đảm bảo thiết bị hoạt động bình thường.

  • Hệ thống cung cấp khí
Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, nhiều loại khí được sử dụng rộng rãi trong các phản ứng hóa học và chế biến. Các sản phẩm PFA cấp bán dẫn cũng có thể được sử dụng trong các hệ thống cung cấp khí, chẳng hạn như ống chân không, ống kiểm soát luồng không khí và ống xả khí thải, để đảm bảo tính ổn định và an toàn của hệ thống cung cấp khí.

05. Tình hình phát triển PFA cấp bán dẫn hiện nay

Với sự phát triển của tích hợp cao, mật độ cao và tinh chế của mạch tích hợp quy mô lớn, các yêu cầu về độ tinh khiết và chức năng cao hơn được đưa ra đối với các vật liệu được sử dụng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Hiện nay, hầu hết các nhà sản xuất chất bán dẫn vẫn dựa vào các sản phẩm PFA nhập khẩu, nhưng Baoshili đã tạo ra nhiều sản phẩm vật liệu PFA cấp bán dẫn, chẳng hạn như phụ kiện ống PFA siêu sạch và khớp nối PFA siêu sạch, thông qua đầu tư công nghệ R&D liên tục, để đáp ứng nhu cầu phát triển nhanh chóng của ngành.
 
nói chuyện ngay Yêu cầu báo giá miễn phí
địa chỉ liên lạc trong các sản phẩm làm sạch phòng sạch / ô tô / dược phẩm của chúng tôi được liệt kê ở trên. Có thể gửi
yêu cầu chung về dịch vụ@xmbsl.com. hoặc vui lòng gọi cho chúng tôi theo số +86 (0592) 6258655