Sở hữu đặc tính trơ hóa học tuyệt vời, khả năng rò rỉ ion kim loại cực thấp, độ nhẵn bề mặt bên trong vượt trội và độ ổn định xuất sắc trong phạm vi nhiệt độ rộng,
Ống PFA siêu sạch
Nó đóng vai trò là thành phần cốt lõi thiết yếu trong hệ thống truyền dẫn chất cản quang bán dẫn.
Khi quy trình sản xuất chip phát triển hướng tới các thế hệ chip tiên tiến hơn, các nhà máy sản xuất đã đặt ra các tiêu chuẩn nghiêm ngặt hơn về độ tinh khiết và kiểm soát hạt trong đường ống dẫn chất cản quang. Là một đường dẫn chất lỏng quan trọng kết nối các bể chứa, máy bơm, van và các bộ phận khác, ống PFA siêu sạch phải chịu được sự ăn mòn lâu dài từ các dung môi hữu cơ mạnh trong chất cản quang. Đồng thời, nó cần phải có khả năng giảm thiểu sự rò rỉ ion kim loại và hiệu suất kiểm soát hạt vượt trội, nhằm giảm thiểu ô nhiễm chất cản quang và đảm bảo năng suất sản phẩm được sản xuất bằng các quy trình tiên tiến.
Từ lâu, thị trường nội địa cho ống PFA siêu sạch cấp bán dẫn phụ thuộc rất nhiều vào nhập khẩu. Đặc biệt đối với sản xuất chip logic và bộ nhớ tiên tiến, các sản phẩm cao cấp vẫn bị chi phối bởi một số ít nhà sản xuất quốc tế. Đối mặt với những nút thắt kỹ thuật trong vật liệu đường ống dẫn chất lỏng cốt lõi cho ngành bán dẫn, BSL đã liên tục đạt được những đột phá trong các quy trình then chốt, bao gồm ép đùn chính xác PFA độ tinh khiết cao, liên tục cải thiện khả năng kiểm soát quá trình hòa tan kim loại và nâng cấp công nghệ sản xuất sạch toàn diện. Ngoài ra, BSL đang đẩy nhanh quá trình kiểm chứng sản phẩm và ứng dụng thực tế tại các nhà máy sản xuất bán dẫn và nhà cung cấp thiết bị bán dẫn hàng đầu. Danh mục sản phẩm của chúng tôi có tính nhất quán theo lô cao, khả năng kháng hóa chất vượt trội và độ tinh khiết cực cao, đáp ứng đầy đủ các yêu cầu khắt khe của hệ thống truyền tải chất cản quang cho các quy trình tiên tiến. Điều này cung cấp sự hỗ trợ vững chắc cho khả năng kiểm soát độc lập và phát triển bền vững của các vật tư tiêu hao quan trọng trong ngành bán dẫn.
01 Khả năng kháng hóa chất
BSL sử dụng nguyên liệu thô PFA có độ tinh khiết cao. Các quy trình tiên tiến giúp cải thiện mật độ và cấu trúc phân tử đồng nhất của ống, giảm thiểu các lỗ rỗng nhỏ và khuyết tật mối hàn, đồng thời ngăn chặn hiệu quả các kênh xâm nhập của môi trường ăn mòn, từ đó nâng cao đáng kể khả năng chống ăn mòn và chống trương nở tổng thể. Khi tiếp xúc lâu dài với các dung môi hữu cơ thông thường dùng trong chất cản quang (như PGMEA và Cyclohexanone), cũng như các hóa chất được sử dụng rộng rãi trong các quy trình ướt bán dẫn bao gồm axit sulfuric và axit hydrofluoric, các ống không bị trương nở, nứt hoặc mất khối lượng, mang lại khả năng kháng hóa chất tuyệt vời.
Kết quả thử nghiệm cho thấy sau 168 giờ ngâm trong dung dịch axit clohydric 37% ở 85℃, ống PFA siêu sạch BSL không có sự thay đổi rõ rệt về hình thức và kích thước, và tổng lượng chất thôi nhiễm vẫn ổn định. Khả năng kháng hóa chất tổng thể của nó đã đạt đến trình độ tiên tiến trên thế giới.
02 Sự rò rỉ ion kim loại thấp
Được sản xuất bằng thiết bị sản xuất có độ chính xác cao, ống PFA siêu sạch BSL duy trì độ tinh khiết cực cao. Tuân thủ Tiêu chuẩn Nhóm về Ống Perfluoroalkoxy (PFA) cấp bán dẫn (sau đây gọi là Tiêu chuẩn), mức độ rò rỉ của các ion kim loại như nhôm, canxi, crom, sắt và natri đều được kiểm soát dưới giới hạn quy định trong Tiêu chuẩn. Đặc biệt đối với các tạp chất quan trọng như natri, sắt và canxi, sản phẩm của chúng tôi mang lại hiệu suất tương đương hoặc thậm chí tốt hơn so với các sản phẩm cạnh tranh quốc tế, đảm bảo độ tinh khiết của chất lỏng từ đường ống đến tấm bán dẫn trong toàn bộ quy trình.
03 Hàm lượng TOC thấp và sự rò rỉ chất rắn dạng hạt
Các ống được làm sạch bằng sóng siêu âm và rửa nhiều giai đoạn bằng nước siêu tinh khiết, giúp giảm đáng kể cặn hữu cơ và các hạt rời rạc trên thành trong. Tiêu chuẩn quy định hàm lượng cacbon hữu cơ tổng (TOC) không được vượt quá 2000 μg/m², trong khi giá trị TOC thực tế đo được của các sản phẩm BSL được kiểm soát trong phạm vi 60% giới hạn tiêu chuẩn.
Ngoài ra, hiện tượng rò rỉ hạt hoàn toàn tuân thủ Tiêu chuẩn SEMI. Trong các quy trình quang khắc nhạy cảm với hạt như phủ và phát triển chất cản quang, sự bong tróc hạt khỏi thành trong của ống được giảm thiểu tối đa, tránh làm trầy xước bề mặt wafer và gây ra các lỗi ngắn mạch.
04 Bề mặt bên trong nhẵn
Nhờ sử dụng khuôn ép đùn độ chính xác cao và các thông số quy trình ổn định, độ nhám bề mặt trung bình (Ra) của thành trong ống sản phẩm BSL được kiểm soát ổn định ở mức ≤0,25 μm. Các thử nghiệm bằng kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) xác nhận rằng thành trong ống nhẵn mịn và không có vết nứt nhỏ. Điều này giúp ngăn chặn hiệu quả sự nhiễu loạn chất lỏng, giảm sự bám dính của các hạt và sự tích tụ cặn hóa chất.
Các sản phẩm dòng BSL Ultra-Clean PFA được phát triển độc lập đáp ứng đầy đủ các yêu cầu khắt khe của quy trình bán dẫn tiên tiến về truyền tải chất cản quang. Chúng thích hợp cho các môi trường làm việc khắc nghiệt đòi hỏi độ sạch cao, khả năng chống ăn mòn mạnh và độ chính xác cao, đảm bảo hoạt động ổn định của hệ thống truyền dẫn chất lỏng và bảo vệ năng suất sản xuất.
dịch vụ trực tuyến
+86 592 625 8655-ext-622
carrie@xmbsl.com
carrielin36
+8613850062482
English
français
español
日本語
Tiếng việt
中文