Trong lĩnh vực sản xuất chip bán dẫn, "độ sạch" của hệ thống đường ống vận chuyển hóa chất siêu tinh khiết ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất thiết bị. Là "mạch máu vàng" của hệ thống vận chuyển hóa chất, ống PFA siêu sạch được sử dụng rộng rãi.

PFA, hay Perfluoroalkoxy Alkane, là một vật liệu hiệu suất cao được đồng trùng hợp từ tetrafluoroethylene (TFE) và một lượng nhỏ perfluoroalkyl vinyl ether. So với polytetrafluoroethylene (PTFE) truyền thống, PFA không chỉ sở hữu khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời, hệ số ma sát thấp và khả năng cách điện tốt (không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ), mà còn có độ bám dính nóng chảy tốt hơn và độ nhớt nóng chảy thấp hơn. Nó có thể chịu được nhiệt độ cao lên đến 260℃ trong thời gian dài, cho phép sản xuất các đường ống và linh kiện có cấu trúc phức tạp thông qua các quy trình như ép đùn nóng chảy.

Vật liệu PFA có độ tinh khiết cao trải qua nhiều bước xử lý chính xác—bao gồm nấu chảy, ép đùn và tạo hình—để trở thành ống thành phẩm. Trong quá trình sản xuất, sự mài mòn nhỏ của các bộ phận kim loại trong thiết bị, các hạt lơ lửng trong môi trường và sự dao động của các thông số quy trình có thể tạo ra các nguồn ô nhiễm mới. Do đó, việc xác minh độ tinh khiết của ống PFA siêu sạch là rất quan trọng.

Ngành công nghiệp bán dẫn đặt ra các yêu cầu về độ tinh khiết cực cao đối với ống PFA siêu sạch. Do đó, ngành này thường áp dụng các thử nghiệm chiết xuất tăng tốc trong điều kiện khắc nghiệt để đánh giá độ tin cậy của sản phẩm.

01. Thử nghiệm rò rỉ ion kim loại

02. Kiểm tra hàm lượng hạt

03. Thử nghiệm dư lượng hữu cơ

04. Bài kiểm tra thể lực

05. Kiểm tra ngoại quan

Kiểm tra đường kính trong, đường kính ngoài, độ dày thành, độ lệch tâm, độ nhẵn bề mặt, độ bóng (không có tạp chất, cong vênh hoặc trầy xước) và sự phù hợp của bao bì.

Hiện nay, nhựa flo hóa siêu tinh khiết đóng vai trò không thể thiếu trong các quy trình sản xuất bán dẫn. Tuy nhiên, thị trường sản phẩm nhựa flo hóa cao cấp từ lâu đã bị chi phối bởi các doanh nghiệp quốc tế. Trong những năm gần đây, với nhu cầu ngày càng tăng về tính tự chủ trong chuỗi công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc, quá trình thay thế trong nước đã dần được khởi động trong lĩnh vực sản phẩm nhựa flo hóa tinh khiết. Trong đó, các linh kiện có tính tiêu chuẩn hóa cao như ống nhựa flo hóa siêu sạch đang nổi lên như những sản phẩm tiên phong đạt được những đột phá về công nghệ.

Thông qua hoạt động nghiên cứu và phát triển độc lập liên tục cùng với việc tối ưu hóa quy trình, Baoshili đã sản xuất thành công. Ống PFA siêu sạch Đáp ứng các yêu cầu của quy trình sản xuất bán dẫn tiên tiến, các sản phẩm này đã dần được đưa vào hệ thống chuỗi cung ứng của nhiều nhà sản xuất chip hàng đầu, tạo ra một lộ trình thiết thực để thúc đẩy việc thay thế nguyên vật liệu cao cấp trong nước.